Компенсатор
01
Сильфонний компенсатор для силового вакуумного поля
Функції продукту
Герметичність у вакуумі: Завдяки високоточній технології зварювання та спеціальній герметизаційній структурі вони гарантують відсутність витоків у середовищах високого вакууму від 10⁻⁸ Па·м³/с до 10⁻¹¹ Па·м³/с, що відповідає суворим вимогам таких галузей, як напівпровідникова та фотоелектрична.
Компенсація зміщення: Завдяки пружній деформації сильфони поглинають осьові, бічні та кутові зміщення, уникаючи концентрації напружень у трубопроводах, спричиненої тепловим розширенням/стисканням або вібраціями обладнання, та подовжуючи термін служби обладнання.
Зниження вібрації та шуму: Гнучка структура може ефективно зменшувати вібрації та шум, що передаються обладнанням, таким як вакуумні насоси та турбомолекулярні насоси, підвищуючи стабільність роботи системи.
Стійкість до корозії та високих температур: Виготовлені з нержавіючої сталі або спеціальних сплавів, вони підходять для агресивних газів (таких як кислі гази в процесах CVD) та високотемпературних середовищ (від -200℃ до +450℃).
Діапазон застосування
Напівпровідникова та електронна промисловість: Використовується у вакуумних трубопровідних з'єднаннях для обладнання у виробництві пластин, травленні, покритті (PVD/CVD) тощо, забезпечуючи високу чистоту та безбрудну передачу.
Системи вакуумних насосів: підключаються до насосів Рутса, роторних лопаткових насосів, молекулярних насосів тощо для компенсації вібрацій та теплових зміщень, а також для покращення герметичності.
Вакуумні клапани та з'єднання камер: У вакуумних машинах для нанесення покриттів та обладнанні для електронно-променевого зварювання вони служать гнучкими перехідними компонентами між клапанами та камерами, запобігаючи ризику витоку, спричиненому жорсткими з'єднаннями.
Науково-дослідне та медичне обладнання: застосовується в прецизійних приладах, таких як прискорювачі частинок, електронні мікроскопи та вакуумні сублімаційні сушарки, для забезпечення стабільності середовищ з високим вакуумом.
Нова енергетична та фотоелектрична промисловість: використовується в таких процесах, як покриття сонячних елементів та вакуумне сушіння літієвих акумуляторів, витримує високі температури та хімічно агресивні середовища.
Переваги продукту
Адаптивність до високого вакууму: Відповідність вимогам надвисокого вакууму до 10⁻¹¹ Па·м³/с без виділення газів.
Довговічна конструкція: багатошарова сильфонна структура з опором втомі ≥10 000 циклів.
Різні способи підключення: фланці (KF/CF), зварювання або швидкоз'ємні інтерфейси, сумісні з різними вакуумними стандартами (ISO/DIN).
Послуги з налаштування: Підтримка налаштування різних калібрів (DN10~DN500), довжин та спеціальних матеріалів (таких як Хастеллой).
Вакуумні сильфони з нержавіючої сталі є ключовими компонентами, що забезпечують ефективну та стабільну роботу вакуумного обладнання, що підходить для промислових та наукових досліджень з високими вимогами до чистоти та точності. Щоб дізнатися про технічні параметри або отримати допомогу у виборі, зверніться до нашої команди професіоналів!